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多达数十家，SiC关键设备企业图谱 - 知乎
2024年2月18日 碳化硅的切磨抛既直接关系到衬底加工的效率和产品良率，又能间接降低国产厂商的生产成本，进而对碳化硅的市场推广产生积极影响。 从技术路线上来说，国内外切磨抛环节的差距不大，但在设备的精度和稳定性上，国产 2023年5月13日 碳化硅的磨抛设备分为粗磨和细磨设备，粗磨方面国产设备基本可以满足加工需求，但是细磨方面主要采购来自于日本不二越、英国log-itech、日本disco等公司的设备，采用设备与工艺打包销售的方式，极大的增加了工艺 造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_中国纳米行业
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「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决方
2024年3月7日 2022年，鸿海集团推出首款自制电动皮卡Model V以及Model B电动SUV，现场展示第三代半导体技术——碳化硅（SiC）功率模块，电动车用电控系统、6寸碳化硅导电型（N-type）晶圆基板产品；2023年12月，小米汽车宣 2 天之前 碳化硅减薄机是一款用于碳化硅晶锭、衬底片或芯片背面进行减薄的设备。“碳化硅是一种非常硬的材料，因此其减薄厚度的准确测量与控制非常难把握，对于减薄机的磨削精度要求非常高。100微米以下超精密磨削！北京中电科碳化硅全自动
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SiC的化学机械抛光技术：实现超光滑表面的秘诀
2024年2月4日 多晶碳化硅（Poly-SiC），凭借其独特的物理和化学属性，包括高热导率、高击穿电场强度、高饱和电子速度以及出色的化学稳定性，已成为半导体材料领域的一颗璀璨明星。. 其在电动汽车、光伏逆变器、智能电网、射频器 2 天之前 摘要. 碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应，给现有的加工技术带来了巨大的挑战，高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热点.本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛 碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势 - 艾
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产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_
2022年12月15日 今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河。截至目前订单量 2022年12月15日 除碳化硅长晶炉设备外，被日本高鸟占据80%以上份额的碳化硅切磨抛设备 ，成为了上机数控、宇晶股份、大族激光、高测股份等厂商向上突围的共同选择。 今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的 ...产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_
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行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...
2023年2月26日 衬底环节是碳化硅器件制造中最核心、最困难的环节。碳化硅衬底价格高是制约 碳化硅应用落地的主要原因。由于切片环节良率较低，切抛磨环节约占衬底总成 本的2/3，切磨抛设备是衬底加工最核心的设备，国产化率约20%。根据我们测2023年5月21日 碳化硅的磨抛设备分为粗磨和细磨设备，粗磨方面国产设备基本可以满足加工需求，但是细磨方面主要采购来自于日本不二越、英国log-itech、日本disco等公司的设备，采用设备与工艺打包销售的方式，极大的增加了工艺 造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_工艺_碳化硅_
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碳化硅的制备及应用最新研究进展 - 汉斯出版社
2024年10月15日 碳化硅具有强度大、硬度高、弹性模量大、耐磨性好、导热性强和耐腐蚀性好等优异性能，被广泛地应用于磨料磨具、陶瓷、冶金、半导体、耐火材料等领域。常用的制备碳化硅粉体方法有碳热还原法、机械粉碎法、溶胶–凝胶法、化学气相沉积法和等离子体气相合成法等等。2023年4月28日 常用来检测精抛后碳化硅衬底片划伤的设备是Candela 8520 。化学机械抛光是通过化学腐蚀和机械磨损协同作用，实现工件表面材料去除及平坦化的过程。晶片在抛光液的作用下发生化学氧化作用，表面生成化学反应层，随后该反应软化层在磨粒的 ...详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎
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「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决方案，实现 ...
2024年3月7日 碳化硅（SiC）作为一种先进的半导体材料，在多个关键领域中具有重要应用。随着技术进步和市场的需求增长，碳化硅晶圆的制造工艺和精密加工技术变得至关重要。文章探讨了碳化硅晶圆制造中的各种精密加工技术，以及它们如何帮助实现产品的高性能和高可靠性。同时，文章也提到了中国在全球 ...2022年3月2日 2020 年 8 月 17，公司碳化硅衬底产业化基地建设项目正式开工，总投资约 9.5 亿元 人民币，总建筑面积 5.5 万平方米，将新建一条 400 台/套碳化硅单晶生长炉及其配 套切、磨、抛加工设备的碳化硅衬底生产线，计划于 2022 年年初完工投产，建成后 可年产碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有 ...
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半导体行业专题研究报告：半导体切磨抛装备材料的国产化趋势
2023年3月2日 （报告出品方：华创证券） 一、DISCO：全球半导体切磨抛设备材料巨头 （一）专注半导体切割、研磨、抛光八十余载，产品布局完善 日本迪思科株式会社（DISCO Corporation）成立于 1937 年，是一家专注于“Kiru（切）、 Kezuru（磨）、Migaku ...2024年6月5日 2024年世界碳化硅大会在武汉举办获得圆满成功，在大会上，诸多碳化硅产业的专业人员也给我们分享了这个行业目前的进展以及相关产业的研究进度，那么本文将带来上海优睿谱半导体设备有限公司关于碳化硅衬底及外延材料量测检测设备的挑战及国产替代进度的分享上海优睿谱半导体设备有限 ...碳化硅衬底及外延材料量测检测设备的挑战及国产替代进度
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日本高鸟研发出新型碳化硅功率半导体方向的切割设备，可 ...
2023年12月27日 CINNO Research产业资讯，日本半导体材料加工设备厂商高鸟株式会社（Takatori，以下简称为“高鸟”）近日推出了一款用于切割功率半导体方向碳化硅（SiC）晶圆的新型切割设备。 该设备不仅支持切割当下主流的直径为6吋（约15厘米）的晶圆，还可 ...碳化硅是人类已知的最坚固的材料之一，由硅（Si）和碳（C）元素组成。这种砂粒又称 "碳化硅"，具有高硬度、优异的导热性和耐磨性等优异特性。碳化硅的非凡特性使其在许多行业，如电子、磨料磨具、电力设备和其他新兴行业中发挥着 碳化硅与硅：两种材料的详细比较 - 亚菲特
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碳化硅晶圆进入8英寸时代！研磨抛光环节该如何破局 ...
2024年8月8日 碳化硅晶片磨抛是单晶生长后的一大高难度工艺，目前我国的碳化硅晶片表面加工精度与国外相比仍然有较大差距，我国仍需要进一步研究研磨、抛光过程中的机理，研发更先进的精密工艺设备，优化晶片加工方法，制备出高质量的碳化硅衬底。2023年6月19日 碳化硅衬底的加工主要分为以下几个工序，切割，粗磨，精磨，粗抛，精抛（CMP ... 常用来检测精抛后碳化硅衬底片划伤的设备是Candela 8520 。化学机械抛光是通过化学腐蚀和机械磨损协同作用，实现工件表面材料去除及平坦化的过程 ...【半导体】碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎
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碳化硅多线切割设备厂商
2023年12月21日 目前，国内在碳化硅切磨抛装备仍以进口为主，高鸟等企业占据较高的市场份额，部分设备型号产能供给受到限制，导致国内厂商生产成本居高不下，国产替代的需求真切，一旦导入产线，市场较为稳定，这也是国内企业纷纷转入碳化硅赛道的主要原因。实际上2024年10月10日 此外，公司应用于碳化硅衬底材料加工的高精密数控切、磨、抛设备已实现批量销售，成为碳化硅衬底加工设备的主要供应商之一。其8 英寸碳化硅材料的多线切割机和双面抛光机等超精密切磨抛设备已达到同类进口设备水平，获得了客户和市场认可。宇晶股份：应用于碳化硅衬底材料加工的高精密数控切、磨 ...
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宇环数控: 数控抛磨设备龙头，受益3C复苏和碳化硅高景气度 ...
2024年1月9日 与客户正在积极推进碳化硅设备的打样和销售进程。根据我们测算，2024年全球 碳化硅抛磨设备市场空间达11.9亿元，按国内36%市场份额，国内市场空间4.3 亿元。 VisionPro将于24年量产销售，公司设备可用于VR眼镜镜片凹面+凸面打磨、 抛光。根据 ...2024年6月5日 从碳化硅产业链整体来看，主要包括晶体 生长、切磨抛、出货、外延 生长、以及量测检测等环节。在每个步骤中，都有关键的监控点，比如晶体生长时的籽晶粘接，气泡处理等。碳化硅的生长采用升华方法，与硅液拉单晶不同，可能存在位错缺陷，包括微管等晶格缺陷，需要 碳化硅衬底及外延材料量测检测设备的挑战及国产替代进度
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碳化硅粉的粉碎设备及粉碎工艺-河南红星矿山机器有限公司
2013年8月19日 碳化硅的超细粉碎设备主要有搅拌磨机、气流磨机、振动磨机及球磨机等。 传统的球磨机应用较早，设备稳定性好，但效率低，能耗大，且不容易得到很细的超细粉末，粉磨后粉体粒径分布范围较宽，增加了分级难度。2023年11月3日 宇晶股份近期接受投资者调研时称，碳化硅是第三代半导体材料代表之一，碳化硅是一种高性能的磨料，具有高硬度、高强度、高耐磨性、高耐腐蚀性、高热稳定性等特点，其材料加工难度大，制作成本高。近年来，公司加大对碳化硅切、磨、抛关键技术的攻克，设备的精度已经达到行业一流水平 ...宇晶股份：目前公司生产的碳化硅切、磨、抛设备已实现批量 ...
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宇环数控：数控抛磨设备龙头，受益3C复苏和碳化硅高景气 ...
2024年1月9日 目前，公司与客户正在积极推进碳化硅设备的打样和销售进程。根据我们测算，2024年全球碳化硅抛磨设备市场空间达11.9亿元，按国内36%市场 份额 ...2023年2月27日 碳化硅是制作大功率、高频、低损耗功率器件的最佳材料 与硅基半导体材料相比，碳化硅具备能量损耗低、封装尺寸更小、可实现高频开关以及耐高温、散热能力强的突出优势，适合制作高温、高频、抗辐射及大功率器件，是新能源领域的理想材料。机械设备行业周报：关注碳化硅设备国产化突破和加速
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碳化硅微粉的应用与生产方法_百度文库
目前国内对于碳化硅微粉粉碎的设备 种类很多。如：搅拌磨机、振动磨机、辊式磨粉机、气流磨粉机及球磨机等等。传统的球磨机应用较早，设备稳定性好，但效率低，能耗大，且不容易得到很细的微粉，加工的微粉粒径分布范围较宽，增加了分级难度 ...2024年1月11日 相关报告 宇环数控研究报告：数控抛磨设备龙头，受益3C复苏和碳化硅高景气度.pdf 宇环数控分析报告：数控磨床龙头，多元布局启征程.pdf 天岳先进研究报告：四大核心竞争力护航，本土碳化硅衬底龙头开启扩张新征程.pdf 碳化硅行业专题报告：高压快充趋势及产业链降本，加速碳化硅产业进展.pdf2024年宇环数控研究报告：数控抛磨设备龙头，受益3C复苏和 ...
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造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_中国纳米行业门户
2023年5月13日 碳化硅的磨抛设备分为粗磨和细磨设备，粗磨方面国产设备基本可以满足加工需求，但是细磨方面主要采购来自于日本不二越、英国log-itech、日本disco等公司的设备，采用设备与工艺打包销售的方式，极大的增加了工艺厂商的使用成本和维护成本。2023年5月16日 粉磨碳化硅微粉是工业粉磨生产中常见的工艺，粉磨碳化硅微粉设备能够使碳化硅更好地运用于工业产品制备中。对于一些即将要购买粉磨碳化硅微粉设备的用户来说，了解粉磨碳化硅微粉设备的工艺原理有助于其购买到为适合的设备。粉磨碳化硅微粉工艺设备介绍
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详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 电子工程专辑 EE Times China
2023年8月7日 在碳化硅半导体的制备过程中，晶圆衬底制造作为占据总成本的40%，是至关重要的一项工艺。在半导体晶圆衬底制造过程中，切割磨抛工序是不可或缺的环节之一,它是将硅晶圆切割成较薄的片状，然后进行研磨和抛光，以2022年4月1日 晶盛机电拥有先进的光伏晶棒及硅锭加工设备。根据公司官网披露，加工一体机高度 集成了多种分体设备的功能，以 WCG700-ZJS 单晶硅棒切磨复合加工一体机为例，按年产 300MW 计算，原需开方机、平面磨床和滚磨机共 21 台，而一体机仅需 5 台 ...晶盛机电研究报告：晶体生长设备龙头，碳化硅培育增长新曲线
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江苏盛泰电力设备有限公司磨煤机电力设备叶轮装置
江苏盛泰电力设备有限公司专注磨煤机,电力设备,叶轮装置的生产和销售，欢迎来电咨询：0523-87484838 盛泰电力设备 诚实守信，依法经营 公司占地面积60000㎡,建筑面积40000㎡,拥有固定资产8500万元, 是集机械加工、铸造、锻造、焊接、热处理于一体的综合机械制造企业。2024年10月11日 10月10日，湖南宇晶机器股份有限公司（以下简称：宇晶股份）参加投资者调研活动，对其业务进展情况进行了介绍，其中包括碳化硅相关业务。宇晶股份表示，其应用于半导体行业的产品主要为研磨抛光机和多线切割机系列产品，其中，应用于碳化硅衬底材料加工的高精密数控切、磨、抛设备已 ...宇晶股份：碳化硅衬底切、磨、抛设备已实现批量销售
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